En muchas fábricas, los requisitos de vacío no son constantes.
Algunos procesos requieren un alto vacío, mientras que otros sólo necesitan mantener un determinado estado. Si el equipo funciona a toda velocidad de forma continua, los costos de electricidad serán altos y se acelerará el desgaste del equipo.
La ventaja de la bomba de vacío de tornillo seco de frecuencia variable radica en esto:
No funciona a plena capacidad todo el tiempo, sino que ajusta automáticamente su velocidad según las necesidades reales. La bomba de vacío funciona bajo demanda, ahorrando electricidad y evitando trabajos innecesarios.
Cuando la carga del sistema es baja, la bomba de vacío se desacelera automáticamente, reduciendo el consumo de energía innecesario;
Si el proceso requiere una mayor capacidad de bombeo, puede responder rápidamente, asegurando que el ritmo de producción no se vea interrumpido.
Este método de control de frecuencia variable no sólo reduce significativamente los costos de electricidad sino que también hace que todo el sistema funcione de manera más fluida y silenciosa. A la larga, también protege el propio equipo.
La bomba de vacío de tornillo seco de frecuencia variable presenta una interfaz de control intuitiva que permite a los usuarios comprender fácilmente el estado de funcionamiento y los parámetros de un vistazo. Los operadores no requieren una formación compleja y especializada; es muy fácil de usar y los ajustes y el monitoreo diarios son convenientes.
Fabricación de semiconductores y electrónica: grabado, CVD, PECVD y otros procesos.
Líneas de producción fotovoltaica y LED: Deposición de película fina, limpieza y evacuación
Procesos químicos: tratamiento de gases, reacción al vacío, recuperación de disolventes.
Revestimiento, enchapado y aplicaciones industriales de alta limpieza.
1. Ruta corta del gas y reducción de la contaminación del gas de proceso
En comparación con otros tipos de bombas de vacío secas, la bomba de vacío de tornillo HANBELL tiene el recorrido de gas más corto en la bomba de vacío y eso podría reducir la contaminación del gas de proceso. Los rotores de tornillo pueden actuar como mecanismo de transmisión de polvo, funcionamos bien incluso si hay mucha contaminación dentro de la bomba.
2. Excelente rendimiento de la bomba gracias a los excelentes efectos de sellado del perfil del rotor
El perfil del rotor patentado puede proporcionar al rotor excelentes efectos de sellado, por lo que se permite un mayor espacio entre ellos. El desgaste del rotor de la bomba y el atasco del rotor debido a la contaminación del proceso se pueden reducir mediante un mayor espacio libre permitido.
3. La estructura simple reduce la posibilidad de que la bomba se detenga inesperadamente y facilita el proceso de revisión.
El vacío de tipo tornillo está compuesto por un par de rotores de tornillo y se requieren placas de aislamiento en diferentes etapas de la cámara de bombeo. También se puede evitar la contaminación del proceso entre los rotores y las placas de aislamiento. La revisión de la bomba seca Hanbell es mucho más fácil que otro tipo de bomba seca, por lo que el tiempo de reparación es más corto y el costo es más económico.
4. El controlador por microprocesador y el software de control remoto pueden proteger la bomba de situaciones anormales.
El controlador de microprocesador proporciona muchos parámetros de la bomba para monitorear el estado de funcionamiento. La bomba se puede operar y monitorear fácilmente mediante el panel de operación. El software de control remoto puede ayudar al cliente a monitorear el estado de funcionamiento de la bomba de forma remota.
1. Se utiliza un refrigerante especial para enfriar, evitando la posible corrosión de la carcasa por el agua de refrigeración.
2. La interfaz de operación móvil es conveniente para la operación; muestra el estado de funcionamiento real de la bomba de vacío y se puede mostrar tanto en chino como en inglés, lo que realmente atiende a los clientes.
3. Conector de alimentación de grado militar, seguro y conveniente.
4. Calentador de nitrógeno, que hace que la bomba de vacío sea más adecuada para procesos de semiconductores como CVD y PECVD.
5. Interfaz de señal de control y señal de comunicación, que permite el monitoreo remoto de la bomba de vacío.
| Modelo | Unidad | PS80 | PS160 | PS180 | |
| Velocidad de bombeo (50 HZ/60 HZ) | l/min | 1300/1600 | 2150/2600 | 2500/3000 | |
| m³/h | 80/96 | 140/156 | 150/180 | ||
| cfm | 48/57 | 82/92 | 88/105 | ||
| Presión UITimate | Torr | ≤7,5*10⁻3 | |||
| mbar | ≤1*10-2 | ||||
| Pensilvania | ≤1 | ||||
| Motor | Frecuencia | HZ | 50/60 | ||
| Voltaje | V | 220~440 | |||
| Fuerza | CV | 4 | 6 | 6 | |
| kilovatios | 2.98 | 4.47 | 4.47 | ||
| Conexión | Entrada | NO50 | |||
| Outler | NO40 | ||||
| Enfriamiento Agua |
Fluir | l/min | 3~7 | ||
| Presión | kilogramos/cm² | 2~4 | |||
| Temperatura | ℃ | 18~30 | |||
| Conexión | RC3/8” | ||||
| N2 | Presión | MPa | 0,15~0,2 | ||
| Flujo diluido | l/min | 0~60 | |||
| Flujo de sellado | l/min | 0~20 | |||
| Conexión | Swagelok 1/4” | ||||
| DIM.L*W*H | milímetros | 814*380*663 | 895*405*678 | 920*425*650 | |
| Peso | kilos | 280 | 300 | 320 | |
| Ruido | dB(A) | ≤68 | ≤70 | ≤70 | |
| Notas: 1. Los niveles de ruido anteriores son para modelos con motor refrigerado por agua y sin carcasa. 2. La instalación de dispositivos de aislamiento acústico en los modelos anteriores puede reducir aún más el ruido en 3-4 decibelios. | |||||
| Interfaz | SEMIE73-0299 | ||||
| Tasa de fuga de la bomba | Mbar.1/s | 1*10-5 | |||
| Temperatura de funcionamiento | ℃ | 5~40 | |||
| Operación Humedad | RH | por debajo del 90% | |||
| Modelo | Unidad | PS602 | PS902 | PS1302 | PS1802 | |
| Velocidad de bombeo (50 HZ/60 HZ) | l/min | 8300/10000 | 12500/15000 | 17500/21000 | 25000/33300 | |
| m³/h | 500/600 | 750/900 | 1050/1260 | 1500/1800 | ||
| cfm | 294/353 | 441/530 | 618/742 | 883/1060 | ||
| Presión UITimate | Torr | ≤7,5*10⁻⁴ | ||||
| mbar | ≤1*10⁻³ | |||||
| Pensilvania | ≤0,1 | |||||
| Motor | Frecuencia | HZ | 50/60 | |||
| Voltaje | V | 220~440 | ||||
| Fuerza | CV | 4+4 | 6+4 | 6+6 | 6+6 | |
| kilovatios | 2,98+2,98 | 4,47+2,98 | 4,47+4,47 | 4,47+4,47 | ||
| Conexión | Entrada | IS0100 (atornillado) | IS0160 (atornillado) | |||
| Outler | NO40 | |||||
| Enfriamiento Agua |
Fluir | l/min | 3~7 | |||
| Presión | kilogramos/cm² | 2~4 | ||||
| Temperatura | ℃ | 15~30 | ||||
| Conexión | RC3/8” | |||||
| N2 | Presión | MPa | 0,15~0,2 | |||
| Flujo diluido | l/min | 0~60 | ||||
| Flujo de sellado | l/min | 0~20 | ||||
| Conexión | Swagelok 1/4” | |||||
| DIM.L*W*H | milímetros | 814*380*865 | 895*380*915 | 920*430*957 | 920*430*1030 | |
| Peso | kilos | 450 | 520 | 540 | 545 | |
| Ruido | dB(A) | ≤70 | ≤70 | ≤70 | ≤70 | |
| Notas: 1. Los niveles de ruido anteriores son para modelos con motor refrigerado por agua y sin carcasa. 2. La instalación de dispositivos de aislamiento acústico en los modelos anteriores puede reducir aún más el ruido en 3-4 decibelios. | ||||||
| Interfaz | SEMIE73-0299 | |||||
| Temperatura de funcionamiento | ℃ | 5~40 | ||||
| Operación Humedad | RH | Por debajo del 90% | ||||
Bomba de vacío de tornillo seco, puede ser con motor refrigerado por agua (a prueba de explosiones) o motor refrigerado por aire (a prueba de explosiones), alta velocidad de bombeo en alta presión, bajo consumo de energía, bajo nivel de ruido.
TFT-LCD, panel táctil
Solar
Sistema metalúrgico
Revestimiento
Procesos plasmáticos
Proceso de secado
Biotecnológico/farmacéutico
Industria química
| Modelo | Unidad | PD120 | PD200 | PD300 | PD500 | PD650 | PD800 | |
| Velocidad de bombeo (50 HZ/60 HZ) | l/min | 1667/2000 | 2830/3400 | 4167/5000 | 7000/8333 | 9030/10840 | 11011/13233 | |
| m³/h | 100/120 | 167/200 | 250/300 | 420/500 | 540/650 | 680/800 | ||
| cfm | 59/71 | 98/117 | 147/176 | 248/295 | 371/382 | 393/471 | ||
| Presión UITimate | Torr | ≤7,5*10-3 | ||||||
| mbar | ≤1*10-2 | |||||||
| Pensilvania | ≤1 | |||||||
| Motor | Frecuencia | HZ | 50/60 | |||||
| Voltaje | V | 220~380~440 | ||||||
| Fuerza | CV | 4/5.3 | 6/7.5 | 8/10 | 15/20 | 25/30 | 25/30 | |
| kilovatios | 2.98/4 | 4,47/5,5 | 6,7/7,5 | 15/11 | 18.5/22 | 18.5/22 | ||
| Fuerza | kilovatios | 1.6/2 | 2.2/3 | 3.6/4.2 | 6/7 | 10/13 | 11/14 | |
| Conexión | Entrada | NO50 | NO50 | ISO63 | ISO80 | ISO100 | ISO100 | |
| Outler | NO40 | NO40 | NO40 | NO50 | ISO63 | ISO63 | ||
| Enfriamiento Agua |
Conexión | RC3/8” | RC1/2” | |||||
| Presión | kilogramos/cm² | 2,0 ~ 4,0 | ||||||
| Temperatura | ℃ | 3slm18℃~7slm28℃ | 6slm18℃~15slm28℃ | |||||
| Fluir | l/min | |||||||
| N2 | Presión | kilogramos/cm² | 0,15~0,2 | |||||
| Flujo diluido | l/min | Por proceso | ||||||
| Flujo de sellado | l/min | 10 | ||||||
| Conexión | Swagelok 1/4” | |||||||
| DIM.L*W*H | milímetros | 814*380*663 | 920*430*674 | 1075*430*650 | 1346*538,4*886 | 1831*610*735 | 1831*610*735 | |
| Peso | kilos | 280 | 345 | 390 | 550 | 1050 | 1050 | |
| Ruido | dB(A) | 68 | <70 | <70 | <75 | <80 | <80 | |
| Temperatura de funcionamiento | ℃ | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
| Operación Humedad | RH | Por debajo del 90% | ||||||

| Producto | Unidad | PD300 | PD500 | PD1902 | PD2152 | PD3052 | PD3652 |
| Bomba seca | m³/h | 330 | 500 | 330 | 500 | 500 | 500 |
| Bomba de refuerzo | m³/h | 1800 | 1800 | 3000 | 3600 | ||
| Velocidad máxima de bombeo | m³/h | 330 | 500 | 1900 | 2100 | 3000 | 3600 |
| l/min | 5500 | 8300 | 32000 | 35000 | 50000 | 60000 | |
| Presión máxima | Torr | 7.5X10-3 | 7.5X10-3 | 7.5X10-4 | 7.5X10-4 | 7.5X10-4 | 7.5X10-4 |
| Consumo de energía | kilovatios | 4.5 | 7.7 | 5.3 | 8.5 | 8.8 | 9.0 |
| Entrada | ENTONCES | 63 | 80 | 160 | 160 | 200 | 200 |
| Salida | noroeste | 40 | 50 | 40 | 50 | 50 | 50 |
| Dimensión (mm) | L | 1055 | 1505 | 1055 | 1505 | 1505 | 1505 |
| W | 430 | 525 | 430 | 525 | 525 | 525 | |
| H | 560 | 515 | 1055 | 790 | 965 | 965 | |
| Peso | kilos | 350 | 500 | 560 | 730 | 1000 | 1020 |
1. Las bombas PR tienen un mecanismo de bombeo sin aceite de alta calidad.
2. Excelente rendimiento de la bomba debido a los excelentes efectos de sellado del perfil del ratón.
3. Operar a presiones relativamente bajas lo hace altamente confiable
4. Funcionamiento silencioso y sin vibraciones
Revestimiento al vacío, horno de vacío, proceso térmico, farmacéutico, químico, semiconductor, TFT/LCD/LED y célula solar, etc.
| Modelo | Unidad | PR600 | PR900 | PR1300 | PR1800 | PR3000 | PR7000 | |
| Velocidad de bombeo (50 HZ/60 HZ) | l/min | 13000 | 20000 | 26000 | 33000 | 63000 | 140000 | |
| m³/h | 800 | 1200 | 1600 | 2000 | 3800 | 8400 | ||
| cfm | 470 | 706 | 941 | 1176 | 2235 | 4947 | ||
| Presión UITimate | Torr | ≤7,5*10⁴ | ||||||
| mbar | ≤1*10⁻³ | |||||||
| Pensilvania | ≤0,1 | |||||||
| Motor | Frecuencia | HZ | 50/60 | |||||
| Voltaje | V | 220~440 | ||||||
| Fuerza | CV | 4 | 4 | 6 | 6 | 8/20 | 20 | |
| kilovatios | 2.98 | 2.98 | 4.47 | 4.47 | 6.7/15 | 15 | ||
| Consumo de energía inactivo | kilovatios | 1.7 | ||||||
| Conexión | Entrada | IS0100 | ISO160 | ISO200 | 320 ISO-K | |||
| Outler | IS0063 | ISO100 | IS0160 | 160 ISO-K | ||||
| DIM.L*W*H |
milímetros |
721*322*233 |
778*360*250 |
848*360*272 |
778*360*272 |
1142*510*358 | 1490*669*490 | |
| Peso | kilos | 160 | 210 |
220 |
225 |
570 | 880 | |
| Ruido | dB(A) |
≤60 |
≤60 |
≤62 |
≤62 |
≤65 |
≤70 |
|
| Notas: 1. Los niveles de ruido anteriores son para modelos con motor refrigerado por agua y sin carcasa. 2. La instalación de dispositivos de aislamiento acústico en los modelos anteriores puede reducir aún más el ruido en 3-4 decibelios. | ||||||||
| Tasa de fuga de la bomba | Mbar.1/s | 1*10⁵ | ||||||
| Temperatura de funcionamiento ℃ | ℃ | 5~40 | ||||||
| Operación Humedad RH | RH | Por debajo del 90% | ||||||
| Modelo | Unidad | PMF100 | PMF120 | PMF612 | |
| Velocidad de bombeo | l/min | 1666 | 1933 | 10000 | |
| m³/h | 100 | 116 | 600 | ||
| cfm | 59 | 69 | 353 | ||
| Presión máxima | Torr | ≤7,5×10-3 | ≤7,5×10-3 | ≤7,5×10-4 | |
| mbar | ≤1×10-2 | ≤1×10-2 | ≤1×10-3 | ||
| Motor | Voltaje | V | 220V/380V | 220V/380V | 220V/380V |
| Potencia nominal | kilovatios | 2.2 | 2.2 | 2.2+2.2 | |
| Conexión | Entrada | NO50 | NO50 | ISO80 | |
| Salida | NO25 | NO25 | NO40 | ||
| Agua de refrigeración Oscuro. |
Presión | kilogramos/cm² | 2,0-4,0(△P>1kg/cm²) | 2,0-4,0(△P>1kg/cm²) | 2,0-4,0(△P>1kg/cm²) |
| Min.Flow | l/min | 1 | 1 | 1 | |
| Temperatura | ℃ | 20℃ 2L/min~30℃ 5L/minuto |
20℃ 2Lmín~30℃ 5L/minuto |
20℃ 2L/min~30℃ 5L/minuto |
|
| comeccion | RC1/4" | RC1/4" | RC1/4" | ||
| L×An×Al | milímetros | 450×230×275 | 450×230×275 | 530×230×520 | |
| Peso | kilos | 60 | 60 | 120 | |
| nariz | dB | 60 | 60 | 60 | |
| Potencia de presión máxima | kilovatios | 0.39 | 0.44 | 0.5 | |
| Producto | Unidad | iPH100 | iPH200 | iPH610 | iPH1210 | iPH1210H | iPH1220 | iPH1810 | iPH1820 |
| Bomba seca | m³/h | 120 | 200 | 120 | 120 | 120 | 200 | 120 | 200 |
| Refuerzo | m³/h | 1 | I | 600 | 1200 | 1200 | 1200 | 1800 | 1800 |
| Velocidad máxima de bombeo | m³/h | 120 | 200 | 700 | 1100 | 1100 | 1250 | 1800 | 1850 |
| Presión máxima | Torr | 7,5×10-3 | 7,5×10-3 | 7,5×10-4 | 7,5×10-4 | 7,5×10-4 | 7,5×10-4 | 7,5×10-4 | 7,5×10-4 |
| Alimentación del sistema en UIt. | kilovatios | 2.1 | 3.5 | 2.6 | 3.0 | 3.2 | 4.5 | 3.9 | 4.7 |
| Entrada | ISO | 63 | 63 | 100 | 100 | 100 | 100 | 160 | 160 |
| Salida | noroeste | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 |
| Dimensión (mm) | L | 830 | 830 | 830 | 830 | 830 | 830 | 830 | 830 |
| W | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | |
| H | 526 | 526 | 780 | 780 | 780 | 780 | 830 | 830 | |
| Peso | kilos | 280 | 300 | 450 | 455 | 460 | 470 | 515 | 530 |
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